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真空计

在真空装置自动控制中,往往要进行真空测量,由于真空装置种类繁多、工作压力范围也不尽相同,因此,从100000-0.00001的各个真空区域的真空测量均会遇到。通常使用的真空计有电阻真空计、热偶真空计、电容薄膜真空计、电离真空计、超高真空计等。为了拓展真空计的功能,真空仪器厂家还生产包括遥控遥测、模拟量输出、RS - 232C等通信接口、压力调节等功能模块板供用户选配。因此,一个配置齐全的真空计,不仅能进行真空度测量、数字显示、量程自动切换、误差自动修正,而且能在压力设定点发出控制信号去进行压力控制,按设定压力值进行压力自动调节,还能将测量值打印记录,并与上位机进行通信联系,甚至还能进行远距离真空测童与控制。
(1)压力控制仪
在工业生产和科学实验中,往往希望真空装置的真空室中的真空度能按真空工艺的要求,维持在某一给定值上。这种要求通常可以通过手动调节真空微调阀来完成,倘若希望自动地完成压力调节,就要借助于压力控制仪来完成。
压力控制仪通常由真空测量单元(真空计)、压力自动调节电路和真空调节阀组成,它是集真空测量与压力调节于一体的自动控制仪器。国产压力控制仪主要有HY, ZDC, SYK, DL,ZZK等系列产品。
表征压力控制仪的主要技术指标是压力控制范围、控制精度、流量控制范围、反应时间等。它取决于其配用的真空规管、控制电路及真空调节阀的性能。
压力控制仪广泛应用于离子注人、离子束刻蚀、真空镀膜、激光技术及半导体材料等领域,其使用的环境条件与同类型的真空计大致相同。
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